4英寸碳化硅晶棒

4英寸碳化硅晶棒生产商用于激光切割 苏州恒迈瑞公司作为碳化硅衬底生产商，也为国内外设备厂商提供导电型碳化硅晶棒，涵盖4英寸及6英寸，用于激光切割设备测试，金刚线多线切割设备测试等，单根晶棒厚度15mm左右。SiC碳化硅的硬度仅次于金刚石，可以作为砂轮等磨具的磨料，因此对其进行机械加工主要是利用金刚石砂轮磨削、研磨和抛光，其中金刚石砂轮磨削加工的效率高，是加工SiC的重要手段。高质量碳化硅晶体切片成翘曲最小、厚度均匀、切口损失小的薄片非常重要，否则会给后续的研磨和抛光带来很大的困难。一般采用金刚石线锯将碳化硅切成晶圆，总厚度变化（TTV）小于30 μm，翘曲度（Warp）小于20 μm。