碳化硅晶体生产厂家

碳化硅晶体生产厂家激光切割应用 苏州恒迈瑞公司供应4英寸及6英寸导电型碳化硅晶体，可应用于碳化硅激光切割设备测试，金刚线多线切割设备测试等。SiC从晶锭到晶圆的加工过程与其他半导体相同。碳化硅单晶锭一般在{0 0 0 1}籽晶上进行生长。晶锭一般为圆柱形，长度为20-30mm。通过x射线衍射可以确定晶锭的晶体取向，如<0 0 0 1>，<1 1 - 2 0>和<1 0 -1 0>。然后晶锭被切割成许多晶圆，最后进行研磨、抛光和清洗。目前SiC晶体的生长方法主要有物理气相传输法(Physical Vapor Transport Method, PVT法)、高温化学气相沉积法(High Temperature Chemical Vapor Deposition, HTCVD法)、液相法(Liquid Phase Method)等。其中，PVT法是已发展较为成熟，更适用于产业化批量生产的方法。