厂商 :北京亚科晨旭科技有限公司
北京市 北京市- 主营产品:
- 半导体设备
- 微组装设备
- LTCC设备
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商品详细描述
产品参数
品牌:其他 型号:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 加工定制:是 用途:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 别名:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 规格:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 适用机械:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N
产品特点
ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置NE-550 特点: 等离子密度与向基板入射的能量能够单独控制,因此Process window宽。 均一性好。 离子性蚀刻到radical性蚀刻都能都大幅度控制。 构造简单,维护性能优越。 来自半导体技术研究所的工艺支持体制。 CS(Customer’s Support )解决方案的综合服务体制。 可选Cassette室,提高生产量。 丰富的Process Application: 1.ISM: Inductively Super Magnetron有磁场ICP型 2.ISM是可以由低电源得到稳定均一的放电,达到Damage最少的蚀刻。 3.使用不挥发性材料的次时代memory‐Al2O3,磁性体,Pt, Ir, PZT, SBTO 等 4.超高频率器件,光器件。 ‐绝缘膜,GaAs/AlGaAs(In),AlGaInP,InP,SiC,ZnSe, Sapphire,GaN,STO/Pt, Au/Pt, W, WSi, Ti, Mo, Ta, BCB, Polyimide,BST, STO 5.各种传感器器件等Photo Nic结晶。 6.MEMS(micromachine)
产品实拍
北京亚科晨旭科技有限公司
半导体设备 微组装设备 LTCC设备 布鲁克检测 EVG设备 白光干涉仪 原子力显微镜 流延机
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