ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀

厂商 :北京亚科晨旭科技有限公司

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  • 主营产品:
  • 半导体设备
  • 微组装设备
  • LTCC设备
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商品详细描述
产品参数
品牌:其他 型号:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 加工定制: 用途:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 别名:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 规格:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N 适用机械:ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置N
产品特点

ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置NE-550 特点: 等离子密度与向基板入射的能量能够单独控制,因此Process window宽。 均一性好。 离子性蚀刻到radical性蚀刻都能都大幅度控制。 构造简单,维护性能优越。 来自半导体技术研究所的工艺支持体制。 CS(Customer’s Support )解决方案的综合服务体制。 可选Cassette室,提高生产量。 丰富的Process Application: 1.ISM: Inductively Super Magnetron有磁场ICP型 2.ISM是可以由低电源得到稳定均一的放电,达到Damage最少的蚀刻。 3.使用不挥发性材料的次时代memory‐Al2O3,磁性体,Pt, Ir, PZT, SBTO 等 4.超高频率器件,光器件。 ‐绝缘膜,GaAs/AlGaAs(In),AlGaInP,InP,SiC,ZnSe, Sapphire,GaN,STO/Pt, Au/Pt, W, WSi, Ti, Mo, Ta, BCB, Polyimide,BST, STO 5.各种传感器器件等Photo Nic结晶。 6.MEMS(micromachine)

产品实拍
北京亚科晨旭科技有限公司

半导体设备 微组装设备 LTCC设备 布鲁克检测 EVG设备 白光干涉仪 原子力显微镜 流延机

公司简介

亚科电子(包括北京亚科晨旭科技有限公司,亚科香港电子科技有限公司等)成立于1998年。自公司成立以来就专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务。目前公司拥有一批在电子装配、微电子封装及半导体制造等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、3D封装(含TSV工艺)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。亚科电子不仅能为客户提供量身订制的高性能成套设备方案,还可以根据客户的需要提供可行的工艺技术咨询。通过多年对国际先进技术和工艺发展的跟踪,亚科电子还能为客户提供完整的LTCC生产设备和工艺咨询,电缆加工设备等。
    目前亚科电子已与众多国际知名微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、DENTON、EVG、SENTECH、ADT、OLYMPUS、LOGITECH、SPTS、ASYMTEK、PALOMAR、HYBOND、SSEC、HESSE、CENTROTHERM、CASCADE、 UNITEK、VISION、ROYCE、MARCH、ABM、KEKO、IDEAL、OKI、REHM 、UNIVERSAL、PHONEIX等),为向客户提供先进的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。
亚科电子目前的客户遍及国内所有军工集团,科研院所和高端研发制造企业等领域,已成功地服务于中国电子科技集团,中国航天、中国航空、中国船舶、中国兵器集团、中国科学院各所、高校和高端制造企业等众单位。
亚科电子历年来秉承“专业服务,全面服务”的宗旨,为客户提供整套技术工艺和设备方案。通过专业的技术服务,实现了真正意义上的交钥匙工程。高性能的设备和专业的技术服务是我们成功的基石,亚科电子期待与更多国内外客户的合作。


公司主营设备:
1. 整套半导体设备
2. 整套微组装设备
3. 整套SMT设备
4. LTCC线和线缆加工设备

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