光谱椭偏仪

SENresearch是一款高性能、研发用宽波段光谱椭偏仪，主要应用是针对研发领域的薄膜、材料分析。

仪器介绍：

SENresearch宽波段光谱椭偏仪系列（光谱范围190 nm –2500 nm），针对、满足现代研究的需求，为任何应用都能够提供出色的测量速度和精确度。

该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度，折射率，吸收系数，并能够描述材料性质，如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。

    SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品，如退偏效应，非均匀样品，散射和背板反射。

SENresearch由SpectraRay II软件操作,  完善的软件能够测量数据，建模，拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。

步进扫描分析器工作模式，超消色差单色仪，电脑控制起偏器，UV-VIS波段快速二极管/CCD阵列探测器和NIR波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比，并为任何测量在全部psi, delta范围（0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).）都提供高的测量精度。

SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态，修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。

    SENTECH先进的地貌图扫描选项，支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性（最小每点5秒）。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图，并能够进行全面统计分析。

可选自动角度计，提供更大范围入射角度(20-90 deg)。

可选低温保持器用于温度控制测量。