反射仪

厂商 :北京亚科晨旭科技有限公司

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  • 半导体设备
  • 微组装设备
  • LTCC设备
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商品详细描述

SENTECH反射仪-RM 2000

SENTECH RM 2000反射仪能够在UV-VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析薄膜厚度和折射率.

 

特性 

高精度测量反射光谱, 非接触、正入射测量

宽光谱范围, 200nm-930nm  (UV-VIS-NIR) 

可测量反射率R, 薄膜厚度, 折射率

l FTP expert分析软件,用于测量薄膜光学常数。

测量半导体膜的材料组分(例如: AlGaN on GaN)

l 分析外延生长多层膜

 

选项

深紫外扩展 (200 nm)

近红外扩展 (1700 nm)

l x-y 地貌图扫描样品台和扫描软件

l 摄像头选项,用于观测样品表面

电脑  

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