亚科电子-电子束曝光设备

(一). 多功能电子su光刻设备Pioneer Two:

 Pioneer Two是一款高性价比的成套的电子su光刻设备，采用30kV Gemini电子su技术，应用于2英寸以下晶圆的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子su光刻。

 

20keV下在HSQ胶上曝光亚8nm线条

(二). 多功能电子su光刻设备eLine Plus:

    eLine Plus是一款集成了纳米操纵设备，如纳米探针、用于聚焦电子su诱导过程的气体注入系统等各种多功能选件的电子su光刻设备，广泛应用于学校和各大科研机构，采用30kV Gemini电子su技术，应用于4英寸以下基板的纳米级光刻、纳米工程、纳米操纵、纳米、纳米轮廓仪、聚焦电子su诱导和成像分析等。

 

HSQ胶上制作亚5nm线条

(三). 专业型电子su光刻设备Raith150 Two:  

    Raith150 Two是一款高分辨电子su光刻设备，采用30kV Gemini电子su技术，应用于8英寸以下基板（可曝光面积6英寸）的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子su光刻，可实现亚5nm的曝光结构。

 

HSQ胶上制作亚4.5nm线条及PMMA胶上制作精细的11nm线条

(四). 专业型电子su光刻设备Voyager:  

    Voyager是一款高性价比采用创新的eWrite体系结构的电子su光刻设备，采用50kV eWrite 电子su技术，应用于8英寸以下基板（可曝光面积6英寸）的高速直写，适合衍射光学元件、防伪元件的加工及化合物半导体器件的高速加工。

 

HSQ胶上制作亚7nm线条

(五). 专业型电子su光刻设备EBPG5150/5200:  

    EBPG5150/5200是一款高自动化的电子su光刻设备，采用100kV EBPG 电子su技术，应用于8英寸以下基板（5150可曝光面积6英寸、5200可曝光面积8英寸）的高深宽比纳米结构曝光、高速电子su直写，适合防伪标识的加工及化合物半导体器件的高速加工。

 

制作GaAs T型器件及在化合物半导体上的应用

(六). 纳米加工和纳米光刻升级配件Elphy:  

    Elphy系列光刻升级配件可以将现有的SEM、SEM-FIB、HIM等聚焦离子束电子su系统升级为纳米光刻和纳米加工设备。

 

Elphy系统