E1550-初步小规模生产的卧式

厂商 ：北京亚科晨旭科技有限公司

北京市 北京市
  • 主营产品：
  • 半导体设备
  • 微组装设备
  • LTCC设备
联系电话 ：18263262536
商品详细描述
centrotherm E1550 优化系统，支持多种工艺能力，适用于中等生产能力和高工艺性能用户，是一款安全、可靠、易于维护的卧式扩散炉平台。该炉可高达4层石英管或SiC工艺管， 其硅片尺寸可达300毫米的。凭借其低维护和运行成本、及占地面积小等优势， E1550 可以生产出极具成本效益的产品。
 
特点：
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计，便于在洁净室安装调试

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