厂商 :北京维意真空技术应用有限责任公司
北京市 北京市- 主营产品:
- ALD设备
- PECVD设备
- 磁控溅射镀膜机
一、 |
真空热压炉介绍: |
1、 |
本电炉为周期作业式,广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理,也可在充气保护情况下热压成形烧结。 |
二、 |
结构说明 |
1、 |
炉体:采用双层水夹层结构,炉壁温度不超过60℃,内外壁为不锈钢抛光。上、下法兰组焊成筒型结构,法兰平面开设密封槽。采用氟圈真空密封,并设水冷装置。炉体设有观察孔及、抽气孔等。 |
2、 |
炉盖:采用双层夹层封头结构,内外壁为304不锈钢,炉盖上设有水冷不锈钢上压头、压力传感器、排气隔膜阀、炉盖紧锁、测温孔等装置。炉盖吊在启闭机构上,电动控制,可将炉盖升启10-15mm。 |
3、 |
炉底:采用双层水夹层结构,水冷不锈钢下压头、下压头进气隔膜阀、进气阀、水冷铜电极、可调节高度位移传感器等。 |
4、 |
炉架:由上下横梁两根厚壁圆筒立柱焊接而成,压头支座都为焊接成型产品,耐压强度高,光洁度及平衡度高。 |
5、 |
压头:上、下压头采用高纯石墨块制作压成。 |
6、 |
真空获得系统:由一台2XZ-8B机械泵和一台K-200扩散泵以及高真空气动阀,波纹管等组成。 |
7、 |
真空测量系统:采用ZDF-5227型复合真空计测量真空度。 |
8、 |
液压系统:采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器、液压缸等相关液压装置,压力调节半自动化、可通过手动调节。仪表可设定自动调节压力,并能实现稳压、保压。 |
9、 |
温控系统:当温度为0-1300℃时用铂铑热电偶测温,并配备铂铑热电偶到温自动退出装置,当温度超过1300℃时,采用红外仪测温;当真空度达到4×10-2Pa或通入惰性气体后,温度达到2000-2400℃时,用钨铼热电偶测温。 |
10、 |
水冷系统:由各种管道阀等相关装置组成,具有水压欠压、断水声光报警自动切断电源功能。 |
11、 |
发热组件、隔热屏:发热组件采用电极石墨加工成圆筒形的结构,采用两相水冷铜电极通电,隔热屏采用石墨、碳纤维(3层石墨筒、6层碳纤维),保温性能好、加热均匀、辐射面大、耐热冲击性好。保温层和发热分体,易维护和取装。 |
12、 |
变压器及联接电缆:采用与使用功率相匹配的变压器及电缆。 |
13、 |
充气系统:由各种管道及阀门组成,并配有放气阀,充气管路上装有针阀。并配有奥托尼克斯压力变送器和日本进口CKD阀,能实现自动充放能,自动保压、稳压。 |
六、 |
主要技术参数 |
1、 |
额定功率:25KW |
2、 |
电源电压:三相四线:380V 50HZ |
3、 |
变压器:15KVA |
4、 |
工作电压:0~36V |
5、 |
温度:2000℃ |
6、 |
冷态极限真空度:6.67×10-3Pa(4×10-1Pa),使用真空度:6.67×10-2Pa(0.1×10-1Pa) |
7、 |
压力:20T |
8、 |
压头直径:80mm |
9、 |
压头位移精度:0.02mm |
10、 |
压头行程:60mm |
11、 |
加压方式:单向加压 |
12、 |
压升率:≤2Pa/h |
13、 |
仪表控温精度:±1℃ |
14、 |
温度均匀性:±5℃ |
15、 |
充气压力:≤0.05MPa |