探针台

高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设：

*** 极低温测试:

    因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。要想避免这些就需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

*** 高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

特点：     

 1、晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电

极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，高低温真空探针台针座位于腔体外部，

便于操作重新调整探针位置。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针

的位置。针座行程 X-Y-Z ：25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)，精度

10 micron（有效行程和精度可选）；

2、工作台温度范围：-150℃——400℃，显示精度0.1℃，控温精度2℃，工作台温度均匀

   性5℃,常温到-150℃冷却时间:1小时40分钟，常温到400℃加热时间：40分钟；

3、真空腔体极限真空到6.67*10-1Pa（配置机械泵）；

4、可以选择射频配件做67 GHz的射频测试；

5、选配：显微镜、防震桌、方形工作台、分子泵组、射频部件等。