高真空多靶磁控溅射镀膜机

维意真空MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机支持定制

MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机


真空腔室：直径450?H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构；


真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；


极限真空：优于5?10-5Pa（经烘烤除气后）；


真空抽速：大气～8?10-4Pa≤30min；


升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；


磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；


溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；


质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加；


膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；


控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

4.设备主要优势

4.1  实用性：

4.1.1  设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可以放置于实验桌面上即可；

4.1.2通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换，实现一机多用；

4.2  方便性：

4.2.1  设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；

4.2.2  设备可将主机置于手套箱内，水、电、气等通过4个KF40接口接到手套箱外，与手套箱的对接灵活方便；

4.2.3  设备工作电压为220V，整机功率小于2KW，对实验室的供电要求低；

4.3  稳定性：

4.3.1设备主要零部件采用进口或品牌，保证了设备的质量及稳定性；

4.4  性：

4.4.1  独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；

4.4.2  控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；

4.4.3  控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行；

4.4.4  控制系统具备通讯故障自检功能，系统对分子泵、溅射电源、真空规、电机、流量计等部件的通讯进行自检，如果某个部件出现故障，可以按照系统中的各部件故障查询办法进行查询，及时确认故障原因，保证设备安全；

4.4.5  控制系统具备数据记录与导出功能，控制系统记录设备的操作记录及镀膜过程数据，可以在系统中查看这些数据，也可以用U盘导出这些数据；

4.4.6  该系统具备三个等级级密码保护功能，不同等级不同使用权限，确保设备的安全性和数据的保密性；

5.设备安装条件（用户自备）

5.1 供电要求

5.1.1  设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

5.1.2  插座距离设备尺寸≤2m；

5.1.3  其它：如用户选配冷却循环水机或其它选购件，用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内；

5.2供水要求

5.2.1  设备需水冷的部件有磁控靶、膜厚仪探头（如选配膜厚控制系统）；

5.2.2  水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃；

5.3安装场地大小要求

      设备尺寸为：长×宽: L60cm×W60cm，建议安装场地尺寸≥L60cm×W80cm。

5.4 其他要求

5.4.1  环境温度：5～40℃；

5.4.2  环境湿度：＜85%R.H；

5.4.3  室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；

6.设备服务承诺

    尊敬的客户：

首先感谢您对我们公司产品的信任！

我公司本着“以最合理的价格、最完善的服务、提供质的产品”的宗旨向您郑重承诺：

6.1 售后服务承诺

   6.1.1  产品质保期为一年；

   6.1.2 在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏；

   6.1.3  在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费；

   6.1.4  质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场并开始维修。

6.2验收

   6.2.1 我公司负责将设备初验收合格后，包装好免费运送至客户所在地，经检验后拆封，供方开始安装调试，运输费用及安装调试费用我司负责；

   6.2.2 我公司根据客户要求，负责组织专业人员对设备进行安装调试，客户需提供基本的安装条件和专人配合，以确保安装调试的顺利进行；

   6.2.3 设备安装调试到位后，双方组织验收，并对验收单进行验收签字；

   6.2.4 我公司向客户提供的设备资料包括：设备说明书、验收单、装箱单、产品合格证、备品备件清单；

   6.2.5 我公司在客户安装现场进行的设备验收发生的一切费用由我司承担；

6.3培训

  6.3.1  我公司派技术工程师对客户人员在设备安装调试时进行技术培训。使需方人员能掌握有关设备的使用、维护，达到能独立进行操作、维护等的目的。

  6.3.2  培训地点为客户设备使用现场，培训人数不少于2人，培训时间根据实际情况而定，培训费用由我司承担。