厂商 ：北京维意真空技术应用有限责任公司
北京市 北京市- 主营产品：
- ALD设备
- PECVD设备
- 磁控溅射镀膜机
*** 热蒸发镀膜机与手套箱一体化优点：
1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。
2.多组蒸发源，兼容有机与金属蒸镀，广泛用于钙钛矿太阳能电池/锂电池及OLED薄膜等研究系统。
*** 常规配置：
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真空腔室 |
L400×W400×H450，前后开门结构，SUS304不锈钢材质 |
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真空系统 |
复合分子泵+直联旋片泵，超高真空插板阀，“两低一高”数显复合真空计 |
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极限真空 |
优于5.0×10-5Pa(如需获得更高的真空度可选择进口真空泵组) |
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基片台 |
基片台直径≤120mm；基片台加热：室温～300℃；基片台旋转及光控定位 |
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蒸发源 |
6组蒸发源（舟式源或挂丝源，兼容有机材蒸发） |
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膜厚控制 |
掩膜及膜厚控制系统：定制掩膜机构 采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚 |
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手套箱系统 |
手套箱箱体尺寸：大箱体L1800/1200×W750×H900mm 箱体泄露率<0.05vol%/h，标准环境箱体内水、氧指标<1ppm |
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控制方式 |
镀膜系统采用手动或PLC触摸屏控制，手套箱系统采用PLC+触摸屏控制 |
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报警及保护系统 |
对泵、电极等缺水，过流过压，断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统 |
