手套箱金属有机蒸发镀膜机

*** 热蒸发镀膜机与手套箱一体化优点：

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。

2.多组蒸发源，兼容有机与金属蒸镀，广泛用于钙钛矿太阳能电池/锂电池及OLED薄膜等研究系统。

维意真空SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机支持定制

SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积；
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0?10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0?10-6Pa；
真空抽速：大气～5?10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距350mm；
蒸发源及电源：4～6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

*** 常规配置：