厂商 ：北京维意真空技术应用有限责任公司
北京市 北京市- 主营产品：
- ALD设备
- PECVD设备
- 磁控溅射镀膜机
开启式RTP快速升温退火炉是一款功能强大的加热设备。该产品采用制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下可以自由打开，安全可靠。炉管采用内管和外管套叠，通过内管进气外管出气使得通入的气氛充分与样品接触，测温热电偶直接和盛放样品接触，保证样品的温度精准。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，不仅能够保持其能量的损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。采用双管设计，是制作石墨烯的方法，炉体和炉管可以自由滑动，气体和温度及真空之间可以同步控制，可以同时实现自动化工艺，触摸屏操作，人机界面更智能更人性化。由于可以实现系统化控制，对于操作和实验的重复性会非常有帮助。
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项目 |
主要技术指标 |
数据 |
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规格型号
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额定温度 |
1000℃ |
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稳定状态温度范围 |
100～1050℃ |
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温度测量精度 |
±0.2℃ |
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温度控制重复性 |
±1℃ |
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温度控制度 |
±1℃ |
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最快升温速率 |
200℃/S（可根据客户需求定制） |
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降温速率 |
1～300，可以采用打开炉体降温或移除炉管降温同时自动启动流量计阀控控制气体冷却,实现全自动智能控制 |
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温度控制模式 |
智能模糊全闭环控制 |
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触摸屏 |
7"LCD 智能操作系统 |
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物理指标 |
功率（KW） |
15 |
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额定电压 |
AC380V 50HZ |
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传感器类型 |
K型 |
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反应腔室外径尺寸 |
Φ100×580 |
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式样有效空间 |
3'' |
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抽气端口尺寸 |
KF25 |
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供气口尺寸 |
Φ6mm双卡套 |
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冷却方式 |
自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） |
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特色功能 |
炉膛移动 |
移动速度可以设定，速度从5mm/min-1000mm/min连续可调 |
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超压保护 |
支持彩屏设定超压保护值。保证系统的安全可靠。超过设定压力自动关闭进气阀，打开出气阀 |
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压力恒定 |
支持系统设定恒定压力值，系统自动均衡压力恒定范围从5Pa-130Kpa |
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疲劳试验 |
系统支持老化试验，只需设置老化次数，系统安装预设程序动作 |
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自动冷却 |
程序运行结束后，系统自动启动通气冷却功能，直到达到温度，系统自动关闭冷却功能。 |
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可以根据客户需求定制 |
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