实验室气路改造设计安装

{管道氮气置换}应急预案

(1)氮气置换过程中需密闭操作。提供良好的自然通风条件。

(2)操作人员必须经过专业培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。现场配备泄漏应急处理设备。

(3)一旦氮气大面积泄漏，人员应迅速撤离泄漏污染区至上风处，并进行隔离，实验室气路安装公司，严格限制出入

(4)应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气源要妥善处理，修复、检验后再重新置换。

(5)人员吸入氮气应迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。

实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，实验室气路安装，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，实验室气路改造设计安装，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， C4F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

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