高真空/电子束蒸发镀膜机/超导专用

可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜，目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料，请咨询我们！

推荐配置：

蒸发腔体：

泵装置：低温泵/TMP  叶片泵/干泵；

真空度通常10-8Torr

电子束蒸发源：6-15KW

Load lock预真空进样室：

泵装置：TMP 叶片泵/干泵，

真空度<10-7 Torr

衬底支架：可加载4英寸衬底

衬底3D转动

衬底倾斜：角度范围请咨询, 精度和重复性优于0.1°（可升级）；

衬底旋转：20rpm.

气体接口：注射氧气及其他气体来实现清洁和氧化过程

衬底清洗：配备离子*

石英晶振膜厚控制仪；

频率分辨率：10-4Hz或更优

速率控制分辨率: 0.01 A/s；

厚度分辨率: 0.01A

全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。

典型用户：Yale University、UCSB、普林斯顿大学、University of Waterloo、法国科学研究中心、University of Glasgow、日本NTT、清华大学等

应用：半导体基器件的欧姆接触/肖特基接触

           欧姆接触与GaAs/p型InP/p型Ni/Ge/Au/n-Au接触

           肖特基接触，例如Ti/Au.

           干法刻蚀技术掩膜

           Cr在软基板上的掩膜

           超导Al结，约瑟夫森结Al2O3

欢迎咨询！