厂商 ：上海续波光电技术有限公司
上海 上海- 主营产品：
- 离子束辅助沉积
- 离子减薄仪
- 磁控溅射镀膜机
联系电话 ：15502170017
商品详细描述
该设备用于薄膜处理，性能卓越，代表性用户如：法国科学研究中心（CNRS）、意法半导体（ST）
系统简单配置如下：
Load lock
真空系统: 机械泵Oil pump/Dry pump 涡轮分子泵/低温泵/电磁泵
离子*: DC / RF
均匀性：100 mm衬底 /- 4%, 刻蚀速率降低均匀性优于 /-2%
衬底尺寸：4英寸衬底（4-12英寸可选），水冷。
终端检测系统：SIMS 或激光干涉仪。
控制方式：全自动电脑控制，半自动或手动控制可选。
详细信息和资料，请联系我们！
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