喷涂钨靶

在长度3191mm的靶材背管上，喷涂不低于9mm厚的钨靶材。包括以下步骤：(1)制备喷涂粉末；(2)预处理靶材背管；(3)对靶材背管喷涂打底层；(4)用等离子喷涂工艺在靶材背管上制备靶材。其中：步骤(1)中，制备喷涂粉末的方法为：以质量百分比计，将91％的与9％的铝粉混合后，在V型混粉机中均匀混粉5小时，然后在100°的烘干箱中烘干5小时。同时，采用的纯度不低于99.9％。该中，以质量百分比计，35％的的平均粒度为135μm，其余平均粒度为80μm。铝粉纯度不低于99.9％、平均粒度为80μm。步骤(2)中，预处理靶材背管的方法为：将靶材在超声波清洗机中超声波清洗30分钟。