银管靶材

当溅射靶被化合物全部覆盖的时候，靶完全中毒，在靶面上沉积一层化合金属膜。使其很难被再次反应。金属化：靶坯与背板在绑定之前，为增强靶材和靶材与焊料的金属润湿性能，需要进行焊合面的预处理，使之表面镀层过渡层。绑定：大部分靶材由于材料的物理或者化学性能受限，不可直接装机镀膜使用，需要采用金属焊料将靶坯与背板相互焊合连接，并且表面有效粘结率需要达到大于95%的大面积焊合。整个过程需要在高温和高压下进行。 靶坯与背板绑定完成后，需要采用水浸式超声波扫描仪进行粘结层的检测验粘结面积是否达标。机械加工：靶坯需要进行准确的机械成型加工，用于与靶坯复合使用的背板，由于承担与镀膜设备配合、承受高压水冷等作用，需要具备非常高的尺寸精度与机械精度。加工难度较高，尤其是带内循环水路的背板，由于材质的特殊性。水路的密闭焊接非常困难，需要用到特种焊接工艺。