厂商 :广州市尤特新材料有限公司
广东 广州市- 主营产品:
- 磁控溅射靶材
- 真空镀膜靶材
- 陶瓷靶材
联系电话 :18026253787
商品详细描述
产品参数
品名:钨 含量≥:99.5-99.9% 重量:按客户图纸定制
产品特点
钨钛合金靶,不锈钢靶、钼铌靶、铝钕靶、锆铝靶、铬钨靶、铬钒靶、钛铝靶、铜镓靶、铜铟镓靶、铜铟镓硒,锌铝靶等合金靶材。 根据中国溅射靶材行业市场数据显示:靶材在半导体材料中占比约为2.5-3%。由于半导体溅射靶材市场与晶圆产量存在直接关系,以中国大陆晶圆厂产能占大部分国家比例为15%计算,2019年中国半导体溅射靶材市场约1.7亿美元。随着晶圆厂产能向中国转移,半导体用靶材市场将达到1.5亿美元。同比增长25%。国内的PVD镀膜市场上有自己的成熟技术,在溅射镀膜和溅射靶材生产有独特的生产工艺,在高等PVD镀膜技术也有成熟的技术生产。靶中毒现象是怎么回事?为了获得理想的薄膜,应要求靶材在几何尺寸和形状上非常均匀,有时为了使用方便还需将靶材与靶托进行Bonding。 在长度3191mm的靶材背管上,喷涂不低于9mm厚的钨靶材。包括以下步骤:(1)制备喷涂粉末;(2)预处理靶材背管;(3)对靶材背管喷涂打底层;(4)用等离子喷涂工艺在靶材背管上制备靶材。其中:步骤(1)中,制备喷涂粉末的方法为:以质量百分比计,将91%的与9%的铝粉混合后,在V型混粉机中均匀混粉5小时,然后在100°的烘干箱中烘干5小时。同时,采用的纯度不低于99.9%。该中,以质量百分比计,35%的的平均粒度为135μm,其余平均粒度为80μm。铝粉纯度不低于99.9%、平均粒度为80μm。步骤(2)中,预处理靶材背管的方法为:将靶材在超声波清洗机中超声波清洗30分钟。
产品实拍
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