广东氧化钛靶材

随着市场需求的变化，中高端靶材成为镀膜行业必不可缺的部分，近年国内的靶材行业发展迅速，靶材供应商纷纷加大研发和投入，广东的靶材供应商发展势头强劲，中高端的靶材制造商在广州实现量产。靶材产品的种类也越来越丰富 ：银（Ag）靶、Cr靶、Ti靶、镍铬（NiCr）靶、锌锡（ZnSn）靶、（SiAl）靶、氧化钛（TixOy）靶，镍铬靶等。 靶材在玻璃上的另一个重要应用是制备汽车后视镜，主要是铬靶、铝靶、氧化钛靶等。由于汽车后视镜档次要求的不断提高，这些企业纷纷从原来的镀铝工艺转成真空溅射镀铬工艺。 伴随着电子产业的发展，高技术材料逐渐向薄膜转移，镀膜期间随之发展迅速，靶材是一种具有高附加值的特种电子材料，是溅射薄膜材料的源极。陶瓷靶材作为非金属薄膜产业发展的基础材料，已得到的发展，靶材市场规模日益膨胀。国内的陶瓷平面靶材主要采用烧结及绑定工艺，可生产长度600mm，宽度400mmm，厚度30mm，圆角、斜边、台阶等异形根据客户要求加工。 陶瓷靶材的特性要求： （1）纯度：陶瓷靶材的纯度对溅射薄膜的性能影响很大，纯度越高，溅射薄膜的均匀性和批量产品的质量的一致性越好。几年来，随着微电子产业的发展，对成膜面积的薄膜均匀性要求十分严格，其纯度必须大于4N。平面显示用的ITO靶材In2O3和Sn2O3的纯度都大于4N。 （2）密度：为了减少陶瓷靶材的气孔，提高薄膜性能，要求溅射陶瓷靶材具有高密度。靶材越密实，溅射颗粒的密度月底，放电现场就越弱，薄膜的性能也越好。 （3）成分与结构均匀性：为保证溅射薄膜均匀，尤特在复杂的大面积镀膜应用中，必须做到靶材成分与结构均匀性好。 相信在不久的将来，国内会有更多的靶材供应商，向国外中高端靶材市场发起一波强而有力的冲击。