洁净度检测设备

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，洁净度检测报告，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

洁净室检测压差的测试

（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，洁净度检测标准，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。

（1）先关闭所有的门。

（3）记录所有数据。

（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

洁净室检测地板导电检测

一、测试介绍，洁净度检测设备，导电度可视为电流流经或绕过某物体之容易程度 (relative ease) ，电阻的倒数即导电度

二.、测量目的测量，洁净度检测，板上点与点之间 (Floor Point to Point) 的电阻，和地板与大地间(Floor to Ground) 的电 阻

三、Point to Point 检测过程，温湿度需已经测试调整合格每组数据需使用两个电极电阻计之开路电压为 500 欧姆，内阻至少 100000 欧姆每个无尘室至少量 5 组数据，取平均值

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