洁净度设备

洁净室压差日常监测如何控制

一.关于压差报警，允许对压差报警设定，重庆洁净度，以满足日常操作需要（如进出开门），但需要合理确定该项活动所需要的时间，洁净度价格，并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报，以允许洁净室的正常活动，如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。

二.有关缓冲间门的要求，除非安装充气密封（equipped with inflatable seals），否则开门后压差存在泄漏（客观事实）。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时，气闸（缓冲间）的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而，除非这些门装有充气密封，否则当其中一扇门打开时，通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大（客观事实）。

洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，洁净度设备，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净室检测-采样量

不同洁净度级别的洁净室，其采样量是不同的，采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间，关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定，粒子计数器应使用采样流率大于1L/min，小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上)，其测量的结果误差较大，即使采用延长采样时间提高采样量也不了测量误差。因此，对于单向流洁净室的洁净度测定，应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。

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