半导体器件性能表征系统北京

厂商 :北京羲和阳光科技发展有限公司

北京 北京
  • 主营产品:
  • 自动41点测厚仪
  • 碳氧含量测试仪
  • 硅芯电阻率测试仪
联系电话 :18618315708
商品详细描述
半导体器件性能表征系统
型号:进口
该半导体器件性能表征系统是一个可以提供精密电流源、电压源和测试功能的测试系统,为半导体器件和测试结构的直流参数测试、实时绘图与分析提供了一套完整的方案,具有高精度和亚fA 级的分辨率,可广泛应用于各类新材料、薄膜材料、异质结构等光电子材料及器件的电学性质和物理特性的研究。
 特点
■直观的、点击式Windows 操作环境
■独特的远端前置放大器,将SMU的分辨率扩展至0.1fA;
■内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储
■独特的浏览器风格的软件界面,根据器件的类型来安排测试;
■支持多种外围设备
■用户测试模块功能,可用于外接仪表控制与测试平台集成,是KITE功能的扩充

 技术参数
■电压测量范围:1μV-200V,电压测量最小分辨率为1μV;
■电流测量范围:100fA-100mA,电流测量最小量程为100nA;
■在最小量程上的电流测量最小分辨率为100fA,精度30pA。
 应用
■ 片上参数测试;
■ 晶圆级可靠性;
■ 封装器件的特性分析;
■ 使用Model4200-SCS控制外部LCR表进行C-VI-V特性分析;
■ 高K栅电荷俘获;
■ 受自加热效应影响的器件和材料的等温测试;
■ 电荷泵方法分析MOSFET器件的界面态密度;
■ 电阻式或电容式MEMS驱动特性分析 ;
■ 半导体激光二极管DC/CW特性分析;
■ 收发模块DC/CW特性分析;
■ PINAPD特性分析
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