厂商 :北京羲和阳光科技发展有限公司
北京 北京- 主营产品:
- 自动41点测厚仪
- 碳氧含量测试仪
- 硅芯电阻率测试仪
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商品详细描述
功能及应用范围:
XH-MPS-150设备是增强型手动分析探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。
技术参数:
XH-MPS-150设备是增强型手动分析探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。
技术参数:
项 目 |
性能指标 | ||
可测圆片尺寸 |
2″、3″、4″、6″ | ||
工作台 |
行程 |
| |
结构 |
精密高刚性直线导轨,滚珠丝杠 | ||
分辨率 |
| ||
操作方式 |
手轮 | ||
承片台Z向 |
接触/分离 |
行程 | |
承片台θ向 |
微调范围 |
±15 ? | |
吸片盘 |
吸片方式 |
真空吸附 | |
分档 |
(2″、3″)、4″、6″单独真空吸附,三档可选 | ||
显微镜及配件 |
立柱式支架 |
前、后,上、下、旋转,仰角四维可调 | |
显微镜 |
双目体视显微镜45X | ||
照明灯 |
LED环形灯 | ||
相关配件 |
打点器 |
可调三维座,驱动DC24V | |
测试探针 |
高弹性钨针 | ||
三维针座 |
磁性吸附式,可调范围:x: ± z: ± | ||
外形尺寸 |
| ||
设备重量 |
约 | ||
使用环境 |
电源 |
AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
功率 |
0.05kW | ||
真空 |
-80 KPa | ||
环境温度 |
15?C-30?C | ||
相对湿度 |
<70% | ||
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