厂商 ：北京羲和阳光科技发展有限公司
北京 北京- 主营产品：
- 自动41点测厚仪
- 碳氧含量测试仪
- 硅芯电阻率测试仪
联系电话 ：18618315708
商品详细描述
半自动探针台与测试仪配接后，能自动完成对芯片的电参数测试。
技术性能：
1. 采用高性能计算机，Windows操作系统，动态显示测试过程；
2. TTL专用接口，IEEE488接口；
3. MAP图显示、支持大量数据存储；
4. 具有同步打点、延时打点、离线打点功能；
5. 具有编辑、矩阵、环形、圆形等多种自动测试方式；
6. 适合对光敏感器件的遮光测试。
技术指标：
环境要求：
1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜0.8KW，真空：< -80 KPa
2. 使用环境：温度：10?C-30?C 湿度：＜60%
设备外形：
技术性能：
1. 采用高性能计算机，Windows操作系统，动态显示测试过程；
2. TTL专用接口，IEEE488接口；
3. MAP图显示、支持大量数据存储；
4. 具有同步打点、延时打点、离线打点功能；
5. 具有编辑、矩阵、环形、圆形等多种自动测试方式；
6. 适合对光敏感器件的遮光测试。
技术指标：
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性能名称 |
技术指标 |
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可测片径 |
4″、5″、6″ |
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工作台 |
最大行程 |
180mm×260mm |
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定位精度 |
≤±0.015mm |
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步进分辨率 |
0.001mm |
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承片台 |
Z向行程 |
8mm |
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Z向定位精度 |
≤±0.005mm |
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Z向分辨率 |
0.001mm |
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θ向调节范围 |
±10 ? |
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θ向分辨率 |
0.001 ? |
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观察装置 |
双目体视显微镜，放大倍数7.5X～45X |
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遮光罩装置（适合对光敏感器件的遮光测试） |
（选配） |
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上、下圆片方式 |
手动方式 |
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外形尺寸（宽×深×高） |
750mm×700mm×1500mm |
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环境要求：
1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜0.8KW，真空：< -80 KPa
2. 使用环境：温度：10?C-30?C 湿度：＜60%
设备外形：
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