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PACVD硬质涂层真空镀膜机系统的特点:
(1)2个等离子激发源(射频,直/直流脉冲)(2)安装在两边的2闭合场非平衡磁控管溅射(3)带有一个前门的六角形真空室,保证一个洁净的环境(4)干式真空系统设计安装在一个单独的空间,处理高吞吐量的碳氢化合物和其他工艺气体(5)基材和导电与非导电涂层及组合高效原位清洗的离子激发系统(6)可选择的等离子体激发模式和频率使等离子的密度和能量适应基材增压特性,以小压强进行电离作用(8)单独的PACVD工艺中不强制转动的时候,一种行星式转动也能够使溅射涂层统一沉积(9)特别是在PACVD过程特殊设计的进气系统能够优化涂层的均匀性和清洁度(10)泵的选择编排和上下的蒸汽压力调节,保证了涂层系统的高可靠性(11)iFIX基础的控制系统,易于批次、配方和报警处理(12)所有数据的采集,保证良好的过程控制。工艺过程中定制曲线图做到良好检查方案。在批次运行过程中,操作者也可更改或新建工艺(13)用户可自行设置进入控制系统的权限,以保证系统的质量和安全性
真空PVD镀膜涂层工艺有那些步骤呢?
今天至成真空小编为大家详细介绍一下真空PVD镀膜涂层工艺操作步骤,它的先后顺序是怎样的,有那些细节和原理是必须要了解的。
首先在处理工艺前,需要褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。镀膜工艺,抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。后处理工艺:首先清洗环节,确保真空镀膜机镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;然后再抽真空将真空室内的残余气体抽走。接下来加热烘烤,炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试,测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗,去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。镀膜,沉积膜层。冷却,避免工件氧化变色。为什么要进行冷却,镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,如果不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。
磁控真空镀膜机做渐变色原理
现在很多物件都镀有渐变色,颜色很绚丽也很显目,现在很多牌子手机壳也应用了这种渐变色,因此,渐变色也越来越受人们关注,渐变色制作原理也激起了大家的兴趣,今天至成小编为大家详细介绍一下真开工镀膜机做渐变色的原理和方法,希望能帮助到大家。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等。主要思路是分成蒸发和溅射两种。而渐变色的工艺制法一般用的磁控溅射镀膜设备,目前华为、联想等多款手机渐变色外壳都采用了PVD真空渐变镀膜工艺。
磁控溅射真空镀膜设备是现有产品在真空条件下镀膜使用的多的一种设备,一台完整的磁控溅射真空镀膜机是由多部分系统组成的,每个系统可以完成不同的功能,从而实现最终的高品质镀膜,磁控溅射镀膜其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。
磁控溅射真空镀膜机的主体是真空腔,真空腔大小是由加工产品所决定,磁控溅射镀膜的大小能定制,腔体一般是用不锈钢材料制作,要求结实耐用不生锈等。磁控溅射镀膜真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。
磁控溅射镀膜成膜控制系统能采用不同方式,比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。真空镀膜机、真空镀膜设备镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强,膜层的纯度高,可以同时溅射多种不同成分的材料。