磁控溅射镀膜设备

中频磁控溅射镀膜设备有哪些特点

中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术，它优于直流磁控溅射镀膜。中频磁控镀膜设备溅射技术已渐成为溅射镀膜的主流技术，它优于直流磁控溅射镀膜的特点是克服了阳极消失现象；减弱或消除靶的异常弧光放电。因此，提高了溅射过程的工艺稳定性，同时，提高了介质膜的沉积速率数倍。

新研发平面靶，圆柱靶，孪生靶，对靶等多种形式的中频溅射靶结构和布局。该类设备广泛应用于表壳、表带、手机壳、高尔夫球具、五金、餐具等镀TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各种装饰镀层。

真空镀膜设备需要的环境要求真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。众所周，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气性能。

真空镀膜机如何安全操作真空系统，真空系统，高温真空泵油加系统的使用，真空镀膜机稍有不慎燃烧的危险，所以在工作的过程中，必须严格操作过程中安装和操作规范，要慎重，热泵经验人是危险的，旋转部件可能伤害人的危险，所以要注意在生产过程中不可接近的增压泵和扩散泵，滑阀泵与罗茨泵的手术前护罩必须是完整的，人不可近。真空镀膜机的设备卷绕系统可能是危险的伤害在操作过程中的人，真空镀膜机所以在后掩蔽和清洁辊速度不太快，不超过30米/分钟，速度不超过10米/分钟的电影。