AF镀膜设备

电子束光学镀膜机有哪些特点

在玻璃/PMMA/PC基片上形成光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起，可以形成品质更加优良的薄膜。

基片伞架采用了每分钟可转60转的中心旋转方式(公转)，减少产生振动和颗粒，使基片能够稳定旋转。

采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪，10kW型)作为蒸发源，可以稳定地形成多层膜。

采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控，可以形成且稳定的光学多层膜。

可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。

引起镀膜玻璃膜层不均匀原因多方面

二次污染造成的洗净的玻璃在镀膜前需经过加热，抽真空和溅射等过程，而使玻璃再次污染，从而使玻璃镀膜后产生。玻璃加热过程中再污染是加热室或溅射室不干净，而对玻璃再污染，这些污染源主要来源于扩散泵返油、加热室或溅射室内脏、靶玻璃材溅射产生靶灰，残余气体压强高等诸多方面。因为一般的固体物质，每单位表面积上的分子数大约为10个左右，在常Pa的压强下，每秒钟撞表面的分子数大体上相当于覆盖物质积的分子数。在残余气体压强为10的情况下，假如以每秒一层原子左右的形成速度进行镀膜时，则蒸发的原子和残余气体的分子几乎是以相同的几率碰撞基片。在溅射过程中在充入气时压强为10～10时所形成膜的速度和蒸发条件下基本相同。

镀膜机在日常使用中应该注意哪些保养？

1例行保养生产设备中发现了一个不好的迹象，立即解决。镀膜机不要认为这油定期更换，等待维修时间，转子泵严重磨损可能。例如，轴承的一些卡工件转架，更换轴承，然后等到它完全打破了，可真是个大问题，镀膜机可能会导致转架电机烧毁等。

2定期检修，镀膜机有人会问一个日常的维护也需要定期维护？事实上，每个设备都有它自己的生命，如2年油扩散泵的使用寿命，提前更换，镀膜机在生产阶段没有问题。

3不要盲目拆卸。镀膜机问题的真空部分是困难的，而许多公司不泄漏检测器，为什么不去真空可能有以下几点：

1也许是泄漏率，也就是我们常说的泄漏；

2也许是真空机组的抽气能力是不够的，污染或氧化；

3可能是一个真空室太脏空气；镀膜机漏水

4真空室管道泄漏；或是有可能。的问题，首先是判断，拆除吗？将漏水？阀门的开启？根据现象判断，然后根据判断发现问题，可以取得事半功倍的效果。

5养成良好的卫生习惯。镀膜机除尘设备及周边设备，石油设备本身是相当大的。灰尘会产生静电，对电子元器件的损坏。油能使导线管淬火裂纹，导致一些意想不到的问题。