磁控溅射镀膜机

真空镀膜机的真空室设计方法

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。

真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。

使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构，结构上要保证快速抽空，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射枪，为了使真空室和元件有足够的强度，保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化，厚度需要足够。

焊接是真空室制造中的一道关键工序，保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象，须合理设计焊接结构，提高焊接质量，处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁，须特别注意的是需做好防止生锈的措施。

真空镀膜机保养的重要性

大家都知道，真空镀膜机的运行状况会直接影响镀膜成品的质量，为了更好的运行，要对真空镀膜机进行维护和保养，那么，那么知道真空镀膜机维护和保养的意义吗？下面，小编给大家讲解一下它们的意义。

设备的日常维护保养是在生产中发现不正常现象，尽快解决。发现机械泵油减少要添加，不要认为油要定期才更换，否者到了维护时，泵的转子可能会磨损严重。例如，一些轴承工件转架卡，要更换轴承，否者等到它完全破碎，问题可就大了，可能会出现电机烧毁等问题。

定期维护保养，有些人会问一个日常维护和定期维护的区别？实际上，每个设备都有使用寿命，例如，扩散泵用的硅油，使用寿命为两年左右，我们提早更换，这是浪费吗？不是，在生产中最不希望出现设备故障，把日常维护保养和定期维护保养都做好了，不仅延长了设备的使用寿命，还减少了运行故障，提高生产效率。

真空镀膜机真空室形变带来的影响

为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响，我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上，其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑，以吸收和隔离形变，并设置形变补偿调节机构，在系统抽真空之前，参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量，以使其在真空状态下达到平衡。

为了验证有限元计算的结果，对真空室的形变和补偿进行了测试。首先，将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧，当真空室由大气抽到真空时，记录各千分表的变化量，经处理后为用激光自准直仪调整设备形变补偿。

由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜，在大气环境下调整设备形变补偿调节机构，使反射光束进入自准直仪接收视场，记录两维角度偏差。

按有限元计算的真空状态下的补偿量再次调整，显然，此时的反射光束已远离自准直仪接收视场，但一旦真空室进入真空状态，反射光束又重新进入自准直仪的接收视场，记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。

工作台运动副的润滑及对真空环境的影响工作台的扫描是处于真空室环境下的频繁运动，除用滚动代替滑动来降低摩擦系数外，在导轨、丝杆等运动副之间采取良好的润滑是保证刻蚀装置长时间正常运行的必要条件。

真空中的润滑的方式通常有镀固体润滑膜和直接使用润滑剂等镀膜容易破坏导轨的运动精度，且工艺复杂。

为此，我们测试了一种市场商品――二硫化钼润滑剂的润滑效果，将该润滑剂直接喷涂在运动副表面，并用四极质谱仪分析了该润滑剂在真空中挥发出的气体的主要成分。