厂商 :北京羲和阳光科技发展有限公司
北京 北京- 主营产品:
- 自动41点测厚仪
- 碳氧含量测试仪
- 硅芯电阻率测试仪
联系电话 :18618315708
商品详细描述
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产品特点 | ||||||||||
■ 系统操作简单、便捷 ■ 线扫描模式的高分辨率红外CCD 探测器; ■ 硅块扫描尺寸最大至400×210×210mm; ■ 适应非抛光及抛光硅块样品; ■ 具有30s/块,5s/面的高速检测速度; ■ 100μm 高精度缺陷定位; ■ 集成驱动马达,自动旋转样品台,实现硅锭4 侧面的自动测试; ■ 提供自动、手动两种检测模式,方便对缺陷区域进行快速精确定位; ■ 特有校准模板,可以消除系统光学像差,提高缺陷定位精度; ■ 可调红外光源光强,提高缺陷识别分辨率; ■ 系统软件能够自动识别硅锭缺陷,帮助分析缺陷类型; ■ 系统软件能够精确定位硅锭缺陷,并可将其转换为三维(3D)模型图像; ■ 提供硅锭尺寸扫描功能(Option); ■ 提供硅锭崩边缺陷探测功能 (Option); ■ 提供电阻率扫描功能(Option)。 | ||||||||||
技术指标 | ||||||||||
■ 测试缺陷:裂纹,杂质,空洞,微晶区等; ■ 扫描模式:线扫描; ■ 测试速度:30s/块,5s/面; ■ 测试尺寸:400×210×210mm; ■ 定位精度:<100μm; ■ 定位重复性:30μm; ■ 分辨率:1000×2600px; ■ 定位精度:100μm; ■ 系统重量:280kg; ■ 电能:230/110Vac50/60Hz; ■ 最大功耗:1500W。 | ||||||||||
软件截图 | ||||||||||
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