厂商 :深圳市八六三计划材料表面技术研发中心
广东 深圳- 主营产品:
- 表面成分分析
- 环境可靠性测试
- 材料分析
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商品详细描述
SEM:扫描电子显微镜,又名SEM,扫描电镜,是一种在真空下用电子束扫描样品表面,逐点激发二次电子信号,根据信号强度组成形貌照片,做高倍率的表面外观形貌观察的仪器。
主要用途:
1、外观形貌观察,放大1000倍~10万倍率,分辨率为1-2nm。2、与能谱仪联用,选定微小位置区域,探测元素成份与含量。3、加上相应探头,可以得到背散射电子像、被动电压衬度像,4、加上微机械探针,可以做成显微探针量取集成电路微小结构上的电流电压。
受限制因素:
样品大小受真空室限制,一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。极限,放大倍率1000~10万倍,对于金属样品可以更高,对于非金属等不导电的样品可能只能做到5万倍。
EDS能谱仪,又名显微电子探针,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素。
主要用途:
1、与扫描电镜或者透射电镜联用,选定微小位置区域,探测元素成份与含量,2、是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的最重要的检测手段。
3、是区分有机物与无机物的最简便的手段,对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素,基本可以断定含有大量有机物。
受限制因素:
不能作液态、漂浮粉末、微绒类样品,切片固封树脂如果没有完全固化也不能做,以免发生漏气、漏夜、粘污等情况污染真空室。
主要用途:
1、外观形貌观察,放大1000倍~10万倍率,分辨率为1-2nm。2、与能谱仪联用,选定微小位置区域,探测元素成份与含量。3、加上相应探头,可以得到背散射电子像、被动电压衬度像,4、加上微机械探针,可以做成显微探针量取集成电路微小结构上的电流电压。
受限制因素:
样品大小受真空室限制,一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。极限,放大倍率1000~10万倍,对于金属样品可以更高,对于非金属等不导电的样品可能只能做到5万倍。
EDS能谱仪,又名显微电子探针,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素。
主要用途:
1、与扫描电镜或者透射电镜联用,选定微小位置区域,探测元素成份与含量,2、是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的最重要的检测手段。
3、是区分有机物与无机物的最简便的手段,对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素,基本可以断定含有大量有机物。
受限制因素:
不能作液态、漂浮粉末、微绒类样品,切片固封树脂如果没有完全固化也不能做,以免发生漏气、漏夜、粘污等情况污染真空室。
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