氧化铌靶生产

ITO靶材则高度依赖进口。近年来，由于智能手机、平板电脑等移动终端的流行，市场对ITO靶材的需求量大增，而ITO靶材主要原材料是稀有金属铟，该领域对铟的消费量占到了铟产量的75%左右。但ITO靶材技术一直无法取得突破，成为为日韩提供铟金属原材料供应国。为了突破技术和产能瓶颈，有效利用铟资源，近年中国企业加快了ITO靶材技术研发和引进。上马了多个高端ITO靶材国产化项目。 然而，国内溅射靶材主要应用于中低端产品商，而高端靶材产品则从日韩进口。本土靶材厂商约占国内市场30%的份额。控制所述磁条在靶材上方从内控制节点出发在靶材宽度方向上进行周期性摇摆变速移动，在一个周期内，依次在第二外控制节点、外控制节点和第二内控制节点进行反向并终返回内控制节点。