厂商 :广州市尤特新材料有限公司
广东 广州市- 主营产品:
- 磁控溅射靶材
- 真空镀膜靶材
- 陶瓷靶材
镍铬靶材。靶材,特别是高纯度溅射靶材应用于电子元器件制造的物理-气相沉积工艺(PVD)、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。磁控溅射靶材,分为陶瓷靶材、金属靶材、合金靶材。应用领域:应用于平面显示工业、薄膜太阳能工业、半导体镀膜工业、建筑/汽车玻璃工业和装饰/功能镀膜工业。 磁控溅射是制备薄膜材料的主要技术,也是PVD的一种。它通过在PVD设备中用离子对目标物进行轰击,使得靶材中的金属原子以一定能量逸出,从而在晶圆表面沉积,溅镀形成金属薄膜,其中被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料。称为溅射靶材。氮化物是在电子和光电子应用方面有较大潜力的新型半导体材料,它在室温下具有高电子迁移率和良好导电性的优势。是目前大部分国家半导体研究的****和热点,是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料。它具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好(几乎不被任何酸腐蚀)等性质和强的抗辐照能力。显示行业主要在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节需要使用靶材溅射镀膜。用于高清电视、笔记本电脑等。 据悉,苹果A13芯片的制造用的正是江丰电子高纯度溅射靶材。溅射靶材是半导体晶圆制造环节核心的高难度材料,芯片对溅射靶材的要求非常之高,要求靶材纯度很高,一般在5N(99.999%)以上。5N就是表示有5个9,4N表示有4个9即99.99%,哪个纯度更高,一看就明白了。在提纯领域,小数点后面每多一个9,难度是呈指数级别的增加,技术门槛也就更高。到这里,知道了高纯溅射靶材,知道了金属靶材的铝、钛、铜、钽,那怎么判断哪个金属应用几寸晶圆上,哪个用在制造工艺上?半导体晶圆制造中,200mm(8寸)及以下晶圆制造通常以铝制程为主。通常认为温度到400℃以下,可以打开炉子,然后到100℃左右将坩埚连护板取出。
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