节能玻璃镀膜靶材

氧化锌掺铝（AZO）薄膜因无毒、成本低、Zn 源材料丰富以及在 H 等离子体中性能稳定等优点得到广泛的研究，尤其作为前电极应用在薄膜太阳能电池中 。在AZO薄膜的制备方法中，磁控溅射技术具有成膜致密和成本低等优点，其中以直流和射频磁控溅射研究最广。 要获得高性能的AZO薄膜，直流磁控溅射一般要求基片加热到 200~500 ℃ ，提高了实际应用中的成本，缩小了AZO薄膜的应用范围。而采用射频磁控溅射技术可以在低温下制备高性能的AZO薄膜，但是沉积速率太低，无法满足实际生产的需求。 将直流射频耦合，溅射则具有两者的优点，一方面有较高的沉积速率，另一方面由于射频的加入，具有较高的等离子体密度，使得薄膜在沉积的过程中同时受到具有适当能量的离子轰击，有助于薄膜的生长和结晶。此外，具有一定陷光作用的透明导电电极对提高太阳能电池的转换效率和稳定性具有至关重要的作用。 总结：1) 直流射频耦合磁控溅射技术兼顾直流和射频溅射的优点，具有适当的沉积速率和较高的等离子体密度，可以在低温下制备光电性能优异的AZO薄膜。2) 在不同工作压强下，随着压强的减小，薄膜结晶度和致密性均变好，电学和光学性能改善，但是压强进一步降低，薄膜受到离子轰击的作用增强，会产生缺陷，从而影响薄膜性能；不同压强下，薄膜结晶性和致密性不同，具有不同的刻蚀性能，工作压强0.5Pa条件下，直流射频耦合溅射制备的AZO薄膜刻蚀后，其电学性能和光学性能均能满足薄膜太阳能电池的要求。 薄膜太阳能靶材 高性能的AZO靶材 氧化锌铝