铝靶材报价

厂商 :广州市尤特新材料有限公司

广东 广州市
  • 主营产品:
  • 磁控溅射靶材
  • 真空镀膜靶材
  • 陶瓷靶材
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商品详细描述
产品参数
纯度:99.9%-99.999% 是否定制:可定制 生产工艺:一体工艺、冷喷涂工艺
产品特点

太阳能电池用铝靶的金属纯度略低,99.995%(4N5)以上。高纯货品靶材被誉为半导体芯片材料的强者,半导体产业对溅射靶材和溅射薄膜的品质要求非常高,随着更大尺寸的硅晶圆片制造出来,相应地要求溅射靶材也朝着大尺寸、高纯度的方向发展,同时也对溅射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。高纯货品靶材在电子信息产业中的应用广泛,因货品有良好的化学稳定性,高电导率、热导率,以及特有的电学、磁学、光学等性能。什么是靶中毒现象(1)正离子堆积:靶中毒时,靶面形成一层绝缘膜,正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡,不能直接进入阴极靶面,而是堆积在靶面上,容易产生冷场致弧光放电---打弧,使阴极溅射无法进行下去。 钨靶、铝靶、铜靶用于导电层薄膜。在半导体芯片制造的金属化工艺过程中,氧化钨薄膜是一种被广泛研究的功能材料。芯片行业拥有一条超长的产业链。其整体可分为设计、制造、封装、四大环节。除了在设计领域,海思拥有一定的打破能力,其他三个环节,尤其是在制造环节,国内厂商的能力仍有较大的提升空间。尽管全各大厂生产的材料几乎都能99.99%的纯度,但却唯有日本厂商的材料能将纯度达到99.999%。半导体材料主要分为晶圆制造材料和封装材料,化学品、电子气体、P抛光材料、以及靶材等;芯片封装材料包括封装基板(39%)、引线框架、树脂、键合丝、锡球、以及电镀液等。磷化铟靶材(InP),铅靶材(PbAs),铟靶材(InAs)。喷涂靶材。 新型的溅镀设备几乎都使用力度强磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化,造成靶与氩气离子间的撞击机率增加,提高溅镀速率。一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面,电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积。 阳极消失:靶中毒时,接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜,到达阳极的电子无法进入阳极,形成阳极消失现象。靶中毒的物理解释(1)一般情况下,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶中毒后,靶材表面都是金属化合物,在受到离子轰击之后,释放的二次电子数量增加,提高了空间的导通能力磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛。近年来,受益于国家从战略高度持续持电子材料行业的发展及应用推广,我国国内开始出现不少专业从事高纯溅射靶材研发和生产的企业,并成功开发出一批能适应高等应用领域的溅射靶材,为高纯溅射靶材大规模产业化提供了良好的研发基础和市场化条件。

产品实拍
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