厂商 :广州市尤特新材料有限公司
广东 广州市- 主营产品:
- 磁控溅射靶材
- 真空镀膜靶材
- 陶瓷靶材
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我们为客户提供各种稀有金属靶材,多种材料合金靶材,陶瓷靶材,粉末和颗粒靶材,主要有铬、钛、不锈钢、硅、钼、锡、石墨、ITO、镍铬、钛铝、**,铬铜邦定等靶材,同时还设有靶材帮定及金属化等服务。在产品质量检测环节,我们在各个环节的检验都是第三方的,每种材料都要通过SGS和客户认可的专业检测机构检测后才进一步加工.我们客户更加有理由期待—我们的产品质量更稳定,交货更及时,服务更周到。通过旋转靶材支撑件带动旋转靶材5转动,实现旋转靶材5内部和表面的清洗。 溅射靶材磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率加大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单。 UVTM为客户提供各种稀有金属靶材,多种材料合金靶材,陶瓷靶材,粉末和颗粒靶材,主要有氧化铌、氧化钛、氧化锆、高纯银、铬、钛、不锈钢、硅、钼、锡、石墨、ITO、镍铬、钛铝、AZO,铬铜邦定等靶材,同时还设有靶材帮定及金属化等服务。 在产品质量检测环节,我们在各个环节的检验都是第三方的,每种材料都要通过SGS和客户认可的专业检测机构检测后才进一步加工。我们客户更加有理由期待—我们的产品质量更稳定,交货更及时,服务更周到。 PVD镀膜目前主要有三种形式,分别是溅射镀膜、蒸发镀膜以及离子镀膜。主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节。其中,关键环节。其中,陶瓷化合物靶材包含氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等。2014年,霍尼韦尔研发出等径角塑型(ECAE)新型靶材,具有更高的材质硬度和更少的杂质颗粒,牢牢把控着国内市场的高等领域。半导体领域对靶材的要求非常高,对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准,需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品,因而有实力产出高纯电子级靶材的企业与公司并不得多。半导体材料可以分为晶圆材料和封装材料,导体材料市场占比在3%左右的溅射靶材。
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