高纯石墨靶材

金属铝靶材Al，金属锑靶材，金属铋靶材Bi，金属靶材Cd，硼靶材B，碳靶材C，石墨靶材C，稀土靶材Ce，金属铬靶材Cr，金属钴靶材Co，金属铜靶材Cu，稀土金属镝靶材Dy，稀土金属铒靶材Er，稀土金属铕靶材Eu，稀土金属钆靶材Gd，锗靶材Ge，黄金靶材Au，金属铪靶材Hf，稀土金属钬靶材Ho，金属铟靶材In，金属铱靶材Ir，金属铁靶材Fe，靶材La，金属镥靶材Lu，金属镁靶材Mg，金属锰靶材Mn，难熔金属钼靶材Mo，稀土靶材Nd，金属镍靶材Ni，难熔金属铌靶材Nb，货品钯靶材Pd，货品铂靶材Pt，金属镨靶材Pr，金属铼靶材Re，货品钌靶材Ru，金属钐靶材Sm，金属硒靶材Se，金属钪靶材Sc，货品银靶材Ag，金属硅靶材Si，难熔金属钽靶材Ta，稀土金属铥靶材Tm，金属锡靶材Sn，金属钛靶材Ti，难熔金属钨靶材W，金属钒靶材V，稀土金属镱靶材Yb，稀土金属钇靶材Y，靶材Zr，金属锌靶材Zn，锇靶材Os，铑靶材Rh。 靶材修复，影响靶中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例，反应气体过量就会导致靶中毒。反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新露金属表面此消彼长的过程。如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率，化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下，参与化合物生成的反应气体量增加，化合物生成率增加。如果反应气体量增加过度，化合物覆盖面积增加，如果不能及时调整反应气体流量，化合物覆盖面积增加的速率得不到舒缓，溅射沟道将进一步被化合物覆盖，当溅射靶被化合物全部覆盖的时候，靶完全中毒，在靶面上沉积一层化合金属膜。使其很难被再次反应。 金属化：靶坯与背板在绑定之前，为增强靶材和靶材与焊料的金属润湿性能，需要进行焊合面的预处理，使之表面镀层过渡层。绑定：大部分靶材由于材料的物理或者化学性能受限，不可直接装机镀膜使用，需要采用金属焊料将靶坯与背板相互焊合连接，并且表面有效粘结率需要达到大于95%的大面积焊合。整个过程需要在高温和高压下进行。靶坯与背板绑定完成后，需要采用水浸式超声波扫描仪进行粘结层的检测验粘结面积是否达标。机械加工：靶坯需要进行准确的机械成型加工，用于与靶坯复合使用的背板，由于承担与镀膜设备配合、承受高压水冷等作用，需要具备非常高的尺寸精度与机械精度，加工难度较高，尤其是带内循环水路的背板，由于材质的特殊性。水路的密闭焊接非常困难，需要用到特种焊接工艺。