高真空探针台冷热型郑科探

高真空探针台冷热型郑科探 高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。 高真空探针台冷热型郑科探技术参数 真空腔体 腔体材质 304不锈钢 上盖开启 铰链侧开 加热台材质 304不锈钢 内腔体尺寸 φ160x90mm 观察窗尺寸 Φ70mm 加热台尺寸 φ60mm 观察窗热台间距 75mm 加热台温度 ﹣196~350℃ 加热台温控误差 ±1℃ 真空度 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa 允许正压 ≤0.1MPa 真空抽气口 KF25真空法兰 气体进气口 3mm-6mm卡套接头 电信号接头 SMA转BNC X 4 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V 探针数量 4探针 探针材质 钨针 探针尖 10μm 探针移动平台 X轴移动行程 30mm ±15mm X轴控制精度 ≤0.01mm Y轴移动行程 13mm ±12.5mm Y轴控制精度 ≤0.01mm Z轴移动行程 13mm ±12.5mm Z轴控制精度 ≤0.01mm 电子显微镜 显微镜类别 物镜 物镜倍数 0.7-4.5倍 工作间距 90mm 相机 sony 高清 像素 1920※1080像素 图像接口 VGA LED可调光源 有 显示屏 8寸 放大倍数 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm