微型高低温真空探针台

微型高低温真空探针台：探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 微型高低温真空探针台技术参数； 真空腔体 型号 KT-0904T-RL高低温型 KT-0904T-R高温型 类型 加热型400℃ 加热制冷型室温到-190℃~400℃ 腔体材质 304不锈钢 腔体内尺寸 φ90x40mm 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） 腔体抽气口 KF16 腔体进气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体出气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） 样品台 样品台材质 304不锈钢 样品台尺寸 26X26mm 样品台-视窗 距离 30mm（可选凹视窗间距15mm） 样品台测温传感器 A级PT100铂电阻 样品台温度 室温到400℃（可选高低温样品台 高温400℃低温-190℃） 样品台测温误差 ±0.2℃ 样品台变温速率 高温10℃/min 低温5℃/min 值 温控仪 温度显示 7寸人机界面 温控类型 标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） 温度分辨率 0.1℃ 温控精度 ±0.5℃ 温度信号输入类型 PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） 温控输出 直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） 辅助功能 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 探针 电信号接头 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA 探针数量 4探针 探针材质 镀金钨针 探针尖 10μm 探针移动平台 X轴移动行程 12mm ±6mm X轴控制精度 ≤5μm Y轴移动行程 12mm ±6mm Y轴控制精度 ≤5μm Z轴移动行程 12mm ±6mm Z轴控制精度 ≤5μm 数码显微镜 显微镜类别 物镜放大+电子放大 显微镜放大倍数 100倍 显微镜工作间距 50-150mm 相机分辨率 1080P 60帧 相机信号输出 HDMI输出+USB输出 LED可调光源 LED光源 显示屏 5寸 屏幕一体机