探针冷热台

探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为60＊60不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中x方向调节范围：0--30mm; y方向调节范围：0—20mm；z方向调节范围：0—20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 技术参数； 真空腔体 类型 高温型室温到400℃ 高低温型 室温到400℃ 室温到-190℃ 腔体材质 6061铝合金 （304不锈钢可选） 腔体内尺寸 127mmX57mmX20mm 腔体外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔体重量 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 腔体抽气口 KF16法兰（其余接口规格可转接） 腔体真空测量口 KF16法兰（其余接口规格可转接） 腔体进气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷 腔体水冷接口 6mm快拧 或 6mm快插 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） 样品台 样品台材质 不锈钢 样品台尺寸 26x26mm 样品台加热方式 电阻加热 电阻加热 液氮制冷 样品台-视窗 距离 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） 样品台测温传感器 PT100型热电阻 样品台温度 室温到400℃ 室温到400℃ 室温到-190℃ 样品台测温误差 ±0.5℃ 样品台升温速率 高温100℃/min 值 低温7℃/min 温控仪 温度显示 7寸人机界面 温控类型 标准PID温控 +自整定 温度分辨率 0.1℃ 温控精度 ±0.5℃ 温度信号输入类型 PT100 （可选K S B型热电偶） 温控输出 直流线性电源加热 直流线性电源加热+液氮流速控制器 辅助功能 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 温控器尺寸 32cmX170cmX380cm 温控器重量 约5.6KG 可扩展电学测试 探针 电信号接头 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA 探针数量 4探针（可扩展5探针） 探针材质 镀金钨针 （其他材质可选） 探针尖 10μm 手动探针移动平台 X轴移动行程 20mm ±10mm（需手动推动滑台） X轴控制精度 ≥500μm R轴移动行程 120° ±60°（需手动旋转探针杆） R轴控制精度 ≥500μm Z轴移动行程 2mm ±1mm Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）