镍铬合金靶材

旋转靶材相对于平面靶材具有很多的优点，I)利用率高(70%以上)。甚至可以达到90%;2)溅射速度快，为平面靶的2-3倍；3)有效地减少打弧和表面掉渣，工艺稳定性好坐寸ο对于旋转镀膜靶材，要求旋转靶`材为单根整体，或分段焊接在同一衬管上。以目前技术条件，旋转靶材的制备方法主要包括热等静压法、热压烧结法和浇铸法，以上工艺各有优缺点，但是对不同尺寸的灵活控制难以满足，尤其是热压烧结法只能生产长度为300mm以内的单支靶材，因此只能通过多节分段焊接固定在衬管上以达到一定的长度要求，这样增加了生产的步骤,提高了靶材生产的成本。等离子喷涂旋转靶材，是将金属或非金属喷涂粉在等离子焰流中加热到熔化或半熔化状态。高纯镍金属靶材、镍铬合金靶材、氧化铝陶瓷靶材研发、生产、销售的高新技术企业，产品广泛应用于航空航天、化工设备、光学镀膜、等离子切割、非晶材料及硬质合金等领域。利用冷喷涂技术生产金属合金靶材。 广泛用于各类装饰镀膜，光学膜系，建筑汽车玻璃膜系，Low-E玻璃 不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。薄膜材料在半导体集成电路（VLSI）、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。