高纯硅靶

真空镀膜机连续使用半年以上，那么设备的抽速将会明显变慢，那么该怎么去维护呢?首先，必须要冲入大气，拆去联结水管，将一级喷嘴拧出来，再用油将泵腔及泵胆清洗一下，再用清洁剂洗一遍，待水份挥发干后，装好泵胆，重新加入新扩散的泵油，并装回机体，便可重新开机。真空电镀在重新开机时，要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分真空度是否达到6X10Pa，否则我们要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入到工作状态。当真空镀膜设备抽泵连续不断的工作一个月的时候，我们须重新在更换新油，将泵油内的旧油完全的排放出来。然后加入新的泵油至一定量。连续使用半年以上。再换泵油时应该将油盖打开，用布擦干净箱内的污垢。