ito旋转靶材

中国超过韩国成为大的LCD生产大国;2019年,韩国宣布继续减少LCD产能转战OLED市场,中国持续布局OLED、LCD显示器、导电玻璃以及太阳能电池等。ITO/Si异质结光电器件与p-n结光电池比较具有工艺简单,转换效率高等特点.ITO是In_2O_3与SnO_2按一定比例的混合物.用电阻加热真空蒸发法制备,避免了环境沾污,得到的特性较好.ITO有着多种功用,首先ITO为高带隙材料,可用作光电池的光入射窗口,又可作为收集光电流的电极,在基底半导体Si上形成势垒作为SIS结的一层以及抗反射层。铟是中国在储量上占据优势的资源。在AZO薄膜的制备方法中，磁控溅射技术具有成膜致密和成本低等优点。 靶材一直被德国的世泰科、贺利氏,美国的普莱克斯、霍尼韦尔,日本的三井矿业、东曹、日矿等六大巨头垄断。 尤特有望打破这一局面，成为靶材的企业。