parylene 涂层设备

厂商 ：旭阿科技（上海）有限公司

上海市 上海市
  • 主营产品：
  • 实验室仪器设备
  • 恒温恒湿箱
  • 干燥箱
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商品详细描述
                

技术参数：

Parylene N, C, D, F-VT4,F-AF4

涂层厚度: 0.05 ~ 100 um        

裂解管功率及温度:  4 kW / max. 850 °C  

Gas injection: homogenous dispersal system

样品舱:Φ640*H800mm

样品台:Φ560*H650mm

耦合剂CVD一体化设计

冷却方式：液氮

等离子预处理模块：80kHz 0~5kW

真空泵系统：

Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa

控制: Windows Full PC

外形尺寸：W2600*D1000*2000mm


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