精密型等离子清洗机

                               等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层的功能。可以应用于多种领域。

                                l  硅蚀刻

                                l  PTFE蚀刻

                                l  去除光刻胶

                                l  提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性

                                l  疏水层的沉积

                                l  亲水层的沉积

                                l  保护或绝缘层的沉积

                                l  防扩散层

                          主要技术参数：

                           1.    全自动控制

                           2.    *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数

                           3.    单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制

                           4.    反应舱为不锈钢，?100 mm*L278mm，容积约为2.2L

                           5.    射频频率13.56MHz,功率0~100W

                           6.    电极材质为铝/不锈钢

                           7.    运行模式为手动

                           8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀

                           9.    *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

                         10. 外尺寸：W310*D420*H330mm

                         11. 电源电压：单相AC230V 16A