厂商 ：北京维意真空技术应用有限责任公司
北京市 北京市- 主营产品：
- ALD设备
- PECVD设备
- 磁控溅射镀膜机
磁耦合超高真空旋转导入器性能
磁耦合超高真空旋转导入器外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，磁耦合超高真空旋转导入器的导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。磁耦合超高真空旋转导入器是实现真空环境中样品旋转驱动的重要仪器。磁耦合超高真空旋转导入器可以根据客户的具体规格和应用来定制。
磁耦合超高真空旋转导入器技术参数：
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密封机制 |
焊接波纹管 |
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材料 |
304不锈钢/铝身（高温型都是304不锈钢） |
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压力范围 |
1 x 10-9 Torr（KF） 1 x 10-11 Torr(CF) |
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烘烤温度 |
200℃（高温型：230℃） |
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工作温度 |
-20℃—150℃ |
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转矩 |
125 oz./in |
磁耦合超高真空旋转导入器分类
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功能 |
手动 |
电动 |
气动 |
特殊性 |
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性能 |
经济 |
微型 |
快门 |
实心轴刀口法兰 |
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标准 |
标准 |
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实心轴基板 |
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高温 |
精密 |
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实心轴O型圈 |
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重载 |
磁耦合 |
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空心轴O型圈 |
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精密 |
波纹管 |
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空心轴筒 |
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磁耦合 |
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直联 |
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螺纹式 |
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快门 |
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波纹管 |
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微型 |
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