连续镀膜PE_CVD镀膜设备

快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由三温区管式炉，三路质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，异形石英管，风冷装置，收放铜箔的密封装置组成，每一个部件都可以CVD管式炉的炉管两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放铜箔的密封装置），收放铜箔的密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，进料进气真空腔室与炉体之间安装有射频等离子体发生器，所述出料排气腔体与炉体之间安装有风冷装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长。