键合机

键合机方案介绍

一、真空室

炉体采用304优质不锈钢氩弧焊接而成，整体结构为立式圆柱形，上下优质304不锈钢法兰封头，双层水冷；炉体上安装ISO100真空抽气口、KF16充气口、KF16电阻规真空测量接口、KF16排气口、CF35电极法兰接口、Φ6-K型热电偶接口等；上盖安装固定法兰与水冷上压头压氟胶圈密封，上盖安装提手和导向孔，与炉体上法兰安装的导向柱配合实现方便操作定位的作用，水冷下压头通过焊接波纹管法兰与下盖压氟胶圈密封。系统极限真空优于6.67*10^-3Pa

二、加热器

加热器采用AC220V供电，电阻丝采用进口电阻材料，极限温度寿命长，温度可达1200℃，建议长期应用温度≤1000℃；保温材料采用真空吸塑一次成型的氧化铝材料，保温性能优越，寿命长，放气量少不影响极限真空的获得；隔热柱采用氮化硼陶瓷，可加工性能强，可与压头紧密配合使用，减少由于机械间隙造成的热辐射；石墨压头与水冷压头之间采用氧化锆陶瓷进行隔热，为了减少陶瓷受热不均匀炸裂增云母片隔热层减少热传导造成的温区温度波动变化。长期使用温度900℃,控温精度0.1℃，200℃以上温度误差±1℃，温场恒温区均匀性±2.5℃。

三、压力机

压力机由精密液压站提供动力，液压站由油箱、液位液温计、空气滤清器、2KW电机、齿轮泵、压力表开关、压力表、溢流阀、回油滤油器、直通单向阀、蓄能器、换向阀、油缸等部件组成。该配置有效行程70mm；可进行恒压、稳压的功能操作  。

四、架台

架台采用40*40的碳钢方管焊接而成，台面采用5mm厚碳钢板，适当增加承重横梁，承载炉体及4根支柱的重量；正对面配合仪表安装蒙板，其他面不作安排，外表面做喷塑处理，美观大气、整洁方便

五、结构件

压头采用不锈钢棒料内部打孔焊接水道而成，保证温度不过高的同时，保证强度达到使用要求，外观美观；波纹管采用焊接波纹管，压缩量可达70%，降低设备整体高度，使用寿命可达10万次， 降低使用维护费用；承重立柱采用4根直径40mm的光轴，上下端挑扣成M30的外螺纹；承重板采用400*500*50mm的不锈钢厚板配做打孔，保证强度同时注重美观度

六、密封连接件

螺钉采用304不锈钢螺钉；密封圈采用氟胶圈；卡箍1套；卡钳1套；铜垫圈1套。

七、温控系统

温控系统由温控表通过4-20mA进行PID控制，实时调整输入加热器电压电流，达到控温目的；仪表箱配置电压表、电流表，可直观的记录相关参数值；控温精度可达到0.1℃

八、压力控制系统

压力控制系统由承重压力传感器、显示器（开关量型）、继电器、液压站相应阀门构成一个控制闭路，实现压力设定、读取的直观性和相应参数的方便记录。

九、真空阀门管路

阀门由ISO100手动高真空档板阀、真空针阀2个、浮子流量计及相应的管路接头等、KF16-Φ6接头2个、KF16放气阀1个、KF25气动挡板阀2个、KF25*1000mm波纹管2根.

十、真空获得设备

真空获得设备采用双级真空，高真空采用成都南光扩散泵，极限真空度5*10^-6Pa，前级真空泵采用中韩合资机械泵，抽速选择6L/s，此配置性价比，维护简单，成本较低。

十一、真空测量设备

真空测量装置采用成都睿宝复合真空计，两个低真空测量电阻规，一个高真空测量电离规，全量程大气压到1*10^-5Pa，性能稳定，维护简单，后期成本较低。

十二、电路总控