厂商 ：成都四洋科技有限公司
四川 成都- 主营产品：
- 质谱仪
- 真空泵
- 液氮管路系统
MKP质量流量控制器Maru5000高精度气体流量计
MKP质量流量控制器（Mass Flow Controller）
多量程、多气体
MARU 5000质量流量控制器
MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀性功能，可以使用不同的气体。
优势：
通过表面EP处理，产品有优秀的抗腐蚀性
由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定
模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,Profibus）
MGMR功能（多气体，多量程）
产品参数：
MARU 5000 量程范围5sccm-50slm
流量测定范围：2%-100%满量程
精度：≤±0.35%满量程（5%-35% Flow Range）/≤±1%读数（35%-100% Flow Range）
响应时间：<1sec
重复性：≤±0.15%满量程
正常工作压力：50-300Kpa
最大工作压力：450Kpa
零点稳定性：<±0.5%F.S./年
温度系数：0.01%满量程/℃
泄漏率：1X10-11Pa.m?/sec（He）
阀门类型：常闭
密封形式：金属
数字接口：RS485，DeviceNet ,Profibus
信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus
电源：+15-24VDC
温度范围：5-50℃
预热时间：30min
材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）
