OPG550光学等离子体真空计

光学等离子体真空计

OPG550光学等离子体真空计

INFICON Augent?光学等离子体真空计是一种紧凑型智能真空监测解决方案。体积小巧的Augent?集两种传感器技术于一身。进行  气体类型监测时，压力测量范围为1 × 10^-7至5毫巴；总压力测量范围可达1 × 10^-7毫巴至大气压。Augent?自带具有保护作用的皮拉尼传感器，当压力超出20巴时可以关闭等离子体。

在1 × 10^-7至5毫巴的测量范围内，该仪表可用于检测氧气、氮气、氢气或氩气等气体。

优势

· 高速检漏，可进行试验箱泄漏检查

· 提高生产率和产量

· 使用寿命长，灯丝不易烧毁，防空气侵入

· 耐过程化学腐蚀

· 采用智能算法，易于集成

· 结构紧凑，空间占用小

· 启动快速可靠

应用范围

·  试验箱泄漏检查，提供更快的RoR (上升速率)试验速度

·  进行泄漏检查，以查找供气管路的内部泄漏

·  实时端点控制

·  气体类型和浓度控制