ACM200电容薄膜真空计

ACM200电容薄膜真空计ACM200-13TBA ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。 特点 直接测量方式测量压力 无关气体组分影响 可应用于腐蚀性气体环境，适合于各类制程应用 可搭配Atovac仪表，实时显示 测量范围从10E-4Torr至1000TOrr，覆盖大多数制程压力范围 规格 压力范围（满量程） 1、2、10、100、1000 低压力 0.01%满量程 精度 ±0.25%读数 可选： ±0.15%读数 温度效应 零点 0.002% 满量程/°C 跨度 0.02% 读数/°C 工作环境温度 0℃至50℃ 暴露于气体中的材料 铬镍铁合金 泄漏率 1x10-8sec/sec He? 大压力 310Kpa 电源要求 ±15VDC (±5%) @ 35 mA 输出信号 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load 法兰 8 VCR, NW16KF